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應用案例 | 臺積電為保證光罩運輸質量選擇MSR沖擊振動記錄

發表時間:2024/11/7 13:58:18

晶圓運輸需要注意什么?

晶圓運輸是半導體制造過程中極為關鍵和敏感的一環。在晶圓運輸過程中,需要注意以下幾點:

1.靜電防護

晶圓非常容易受到靜電的干擾,因此在運輸過程中需要遵守嚴格的靜電防護措施。使用適當的靜電防護包裝材料和避免靜電產生的行為,如使用導電鞋墊和穿戴適當的防靜電服裝。

2. 真空環境

晶圓在運輸過程中需要處于潔凈和真空的環境中,以防止灰塵和污染物對晶圓的影響。運輸過程中應使用密封良好的容器和避免碰撞或振動

3. 溫度和濕度控制

晶圓對溫度和濕度變化非常敏感,因此在運輸過程中需要嚴格控制這些參數。使用恒溫恒濕的運輸設備和確保適當的溫濕度范圍,以防止晶圓受損或質量受影響。

4. 防碰撞和防震

晶圓是非常脆弱和易碎的,需要避免碰撞和震動。在運輸過程中,應使用適當的防震包裝和避免粗暴的操作,以保護晶圓的完整性。

5. 運輸記錄和追蹤

為了確保晶圓的運輸過程可追蹤和監控,應使用適當的運輸記錄和追蹤系統。這將有助于追蹤晶圓的位置和狀態,以及及時處理任何潛在的問題。

因此晶圓運輸需要非常嚴格的控制和保護措施,以確保晶圓的質量和完整性不受損害。



HK-MSR175Plus能夠做到什么?

HK-MSR175plus的主要功能是監測和記錄運輸過程中的溫度、濕度、壓力和位置數據。它配備了內置的GPS模塊,可以準確記錄物品的位置信息,并可通過無線方式將數據傳輸到計算器或移動設備上進行分析和評估

這款產品非常適合用于物流和運輸行業,特別是在需要對貨物進行長途運輸或特殊環境下的監測時。它可以幫助用戶實時監測運輸過程中的溫度和濕度變化,以確保貨物的質量和完整性。



HK-MSR175plus具有高精度和可靠性,能夠提供詳細的數據報告和圖表,以便用戶進行分析和比較。該設備還具有耐用的外殼,能夠承受艱苦的運輸環境,并具有長電池壽命,確保長時間的監測工作。

使用HK-MSR175plus,您可以有效地管理和控制運輸過程中的各種參數,以確保產品的安全性和質量。這對于需要高度可靠監測的行業,例如食品和藥品行業,尤其有用。

總之,HK-MSR175plus是一款功能強大的 GPS 數據記錄器,為運輸監測提供了全面的解決方案,幫助用戶實時監測貨物的溫度、濕度、壓力和位置,確保貨物在運輸過程中的安全和質量


臺積電工程師專訪

Q1:「HK-MSR175plus沖擊運輸數據記錄儀」在臺積電主要應用在哪些場域?(用在哪些產品的運輸?每一趟運輸的時間、距離?)

A1:我們將HK-MSR175Plus應用在中國臺灣與美國的運輸中。因為在運輸過程中會產生量的上下左右振動,所以我們需要了解傳送振動的實際g値,并且規范出最大的振動范圍。平均一趟的來回運輸時間約為 9 天,距離約 25,000 公里。


Q2:眾多相關產品之中,臺積電為何選擇「HK-MSR 175plus」?(哪些特點吸引購買?價格、質量、功能性…?它跟其他類似的替代方案比有哪些更好的特點?)

A2:由于我們需進行長距離的測試,HK-MSR175plus本身具有的高電量與高內存特性,讓測量變得較為容易,有些廠商會因為時間一長,振動數據記錄太多,而內存容量不夠導致數據遺失。


Q3:在使用「HK-MSR175plus」的過程中,它對臺積電的工作或業務產生了什么樣的幫助?(運輸過程中的安全性產生了什么影響?相較之前使用的產品是否有哪些層面提升?)

A3:使用HK-MSR175Plus后能幫助臺積電更了解振動對光罩的影響,并且實際規范出量化的數值,防范未來振動對光罩的影響,提升光罩傳送的成功率。


Q4:這是屬于一次性的需求嗎?之后國內外的廠房建置是否會有復制需求?

A4:未來光罩在往返中國臺灣與美國的途中,會添置HK-MSR數據記錄儀以監測運輸過程中所產生的振動數值。


Q5:最后,作為臺積電的工程師,您會推薦這項產品嗎?(是/否。推薦原因?推薦給哪些人使用?)

A5:會,非常推薦給需要量化振動數據的廠商或工程師們使用!


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